





真空手套箱
手套箱包含真空手套箱、有机玻璃手套箱、净化手套箱,所谓真空手套箱其实就是刚刚引进手套箱概念到国内时,国内第1批厂商命名的,就是手套箱需要真空泵抽取过渡舱气体后放入手套箱,箱体气氛也可以被真空泵抽取的意思,可以带惰性气体纯化系统也可以是不带气体纯化系统简单的箱体;有机玻璃手套箱一般是不带气体净化系统的透明箱体,里面填充99.999%纯度氮气,一般箱内气氛不能达到<10ppm的纯度,不带气氛检测、吹扫过称需消耗大量氮气;净化手套箱一般是带气体纯化系统和密闭箱体操作空间的手套箱,可达到的环境气氛纯度高,一般品质过硬的厂商,水氧指标都能控制到<1ppm的高纯状态。
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手套箱在OLED器件制作过程中的应用
OLED,即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode),是一种全新的显示技术。与LCD相比,可视角度宽(大于170°)、响应时间快(LCD的千分之一)、低温特性好(在零下40度正常显示)、低功耗等优点,被业界广泛看好成为下一代显示技术,现在已广泛应用于车载显示器、手机显示屏等等。并且随着OLED技术发展,白光OLED在照明领域也开始崭露头角,尤其在城市照明、广告牌等行业被寄予非常高期望。
通常所说OLED其实包含小分子OLED和高分子OLED(也称PLED)两种。小分子OLED和高分子OLED的差异主要表现在器件的制备工艺不同:小分子器件主要采用真空热蒸发成膜工艺,高分子器件则采用旋转涂覆或喷涂印刷成膜工艺。
OLED器件的制备工艺大致包括:ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前处理→真空蒸镀有机层→真空蒸镀背电极→真空蒸镀保护层→封装→切割→测试→模块组装→产品检验等十几道工序
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手套箱常见故障及解决办法
1、清洗时箱压持续增加
原因:清洗阀门没有打开、进气压力太大、管路不畅通造成。
办法:①保证管路畅通,不要折弯;②清洗时,箱内相对压力持续低于0.5毫巴。
2、净化柱主阀故障
原因:①工作气压力不足0.5Mpa;②主阀信号反馈故障。
办法:①更换工作气瓶,或检查减压阀副表压力在0.5Mpa;②检查主阀信号开关。
3、循环不能开启
原因:风机变频器低压或高压保护。
办法:待电压稳定后,关机隔1分钟后重启。
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